旧单晶硅炉东台控制柜的电话当断路器再扣合闸后，微动关重新处于常闭位置。欠电压脱扣器：欠电压脱扣器是在它的端电压降某一规定范围时，使断路器有延时或无延时断的一种脱扣器，当电源电压下降（甚缓慢下降）到额定工作电压的70%35%范围内，欠电压脱扣器应运作，欠电压脱扣器在电源电压等于脱扣器额定工作电压的35%时，欠电压脱扣器应能防止断路器闭合；电源电压等于或大于85%欠电压脱扣器的额定工作电压时，在热态条件下，应能保断路器可靠闭合。因此，当受保护电路中电源电压发生一定的电压降时，能自动断断路器切断电源，使该断路器以下的负载电器或电气设备免受欠电压的损坏。使用时，欠电压脱扣器线圈接在断路器电源侧，欠电压脱扣器通电后，断路器才能合闸。安全技术作规程编辑1，在全部和部分带电的盘上进行工作，应将检修设备与运行设备以明显标志隔。

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单晶炉提拉速度控制系统的设计与分析1　引　言半导体材料是半导体工业的基础材料用提拉的法制成的。其中用量大和用途广泛的是半导体硅。95%以上的半导体器件是用硅材料的，99%以上的集成电路是硅集成电路在单晶硅生产过程中图1示出了单晶炉提拉速度控制系统在单晶硅生产中的作用。提拉杆的运动是靠驱动电机通过减速器在实际单晶炉中。要求提拉速度V能在(0.2～10.0)mm/h内无级调节，它相对于给定信号的线性精度±2%。设计了一种实用的单晶炉提拉速度控制系统，并在实际生产中获得成功应用。2　设计的关键图1示出了单晶炉提拉的工艺过程。提拉控制系统的驱动电机转速n经减速器。生长过程均速提拉的法制成的。5其特征在于所述气流导向装置(20)各通气孔(2-3)与该炉的排气口(13)通过通气管(19)相连通。7，根据权利要求6所述的直拉式单晶生长炉，其特征在于所述气流导向装置(20)由石墨制成。其包括中轴孔，一对电极孔，以及与排气口相对的通气孔，石墨中轴穿过所述气流导向装置的中轴孔，所述电极柱分别穿过所述电极孔，排气口与气流导向装置的各通气孔相连通。本发明了一种直拉式单晶生长炉氩气流量为30L/min。还包括设于坩埚支持器下方和排气口之间的碗形气流导向装置气流导向装置的上端部设于保温筒与发热体之间。与氩气输入管相连通的环形气体分布器，其特征在于经氩气输入管输入的氩气气压为0.8×10³Pa0.9×10³Pa。